1. MEMS (Micro Electro Mechanical System)
ㅇ 사람을 대신하여 좁은 공간 속에서 활동할 수 있도록,
- 소형화된 전자 장치와 기계 장치를 조합시킨,
- 미세 전자 기계 시스템
ㅇ 다른 명칭
- 유럽에서는 MST(Micro System Technology), 일본에서는 마이크로머시닉 등
2. MEMS 특징
ㅇ 크기
- 수 mm ~ 수 ㎛ 또는 nm
ㅇ 구성
- 센서(Sensor), 논리회로(Logic Circuit), 구동기(Actuator)
ㅇ 제작
- 반도체 칩 제조공정과 유사하게 각종 전자회로 및 기계소자를 칩 상에 배열
. 반도체 제작 기술의 발전과 더불어 성장을 함
ㅇ 기술적 특징
- 기계공학,전기공학의 지식은 물론 여러 분야의 복합적 기술이 필요함
- 현재는, 나노기술의 등장과 더불어 정밀 의료기기,고기능 정보기기 등 활용분야가 확대됨
ㅇ 응용
- 잉크젯프린터헤드, 자동차 에어백, 마이크로 디스플레이, 체내 의약 전달, 정밀 카메라 셔터 등
. 例) 광 스위치 : 초소형 미터, 초소형 액츄에이터를 이용하여 기계적으로 구현